Đánh giá các hóa chất nguy hiểm bằng Bảng dữ liệu an toàn hóa chất và các sản phẩm phụ khi sử dụng vật liệu cảm quang trong ngành công nghiệp bán dẫn

12/02/2020

Đặt vấn đề

Quá trình quang khắc trong ngành công nghiệp bán dẫn sử dụng nhiều loại hóa chất với rất ít thông tin về thành phần của chúng. Nghiên cứu này nhằm xác định thành phần hóa học của các sản phẩm sử dụng vật liệu cảm quang (photoresist – PR) và sản phẩm phụ từ quá trình sản xuất chúng, và so sánh những thành phần này với các bảng dữ liệu an toàn hóa chất (Material safety data sheets – MSDSs) và các kết quả phân tích.

Phương pháp

Nhóm nghiên cứu đã thu thập được 51 loại vật liệu cảm quang và 48 bảng dữ liệu an toàn hóa chất. Quá trình phân tích bao gồm 2 phần: trước tiên, sử dụng bảng dữ liệu an toàn hóa chất để nhận diện và phân tích thành phần của các sản phẩm hóa học; tiếp đó, phân tích các chất hữu cơ bay hơi để xác định sản phẩm phụ từ quá trình sản xuất sử dụng vật liệu cảm quang. Các thành phần hóa học được phân loại theo mức độ độc hại của chúng.

Kết quả

45 trong số 48 loại sản phẩm có chứa các chất bí mật thương mại với hàm lượng từ 1 – 65%. Đã xác định được 238 loại nguyên liệu có trùng lặp (trong đó có 35 loại nguyên liệu không trùng lặp) trong dữ liệu từ các bảng dữ liệu an toàn hóa chất và 48,7% các loại nguyên liệu được dán nhãn bí mật thương mại theo Đạo luật An toàn vệ sinh lao động Hàn Quốc. Tỉ lệ phù hợp giữa dữ liệu trong các bảng dữ liệu an toàn hóa chất và kết quả phân tích là 41,7%. Quá trình phân tích sản phẩm phụ đã nhận diện được 129 hóa chất được phân loại theo số đăng ký CAS với 17 loại là hóa chất gây ung thư, gây đột biến và gây hại cho quá trình sinh sản. Formaldehyde dược tìm thấy ở 12 trong số 21 loại sản phẩm có sử dụng nhựa novolac.

Kết luận

Nghiên cứu đã xác định được rằng một số loại vật liệu cảm quang có chứa các chất gây ung thư, và một số không được cung cấp thông tin về độc tính trong các bảng dữ liệu an toàn hóa chất. Các chất hóa học nguy hiểm, bao gồm cả benzen và fomandehyde, được giải phóng dưới dạng sản phẩm phụ của quá trình sản xuất sử dụng vật liệu cảm quang. Bởi vậy, cần phải thiết lập một mạng lưới quản lý có tính hệ thống đối với các hợp chất hóa học và môi trường lao động. 

Tải bản tiếng Anh đầy đủ: Tại đây

Biên dịch: Hoàng Phương

(Nguồn tin: sciencedirect)